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    光學半導體產品雙面超精機

    时间:2021-10-13     作者:光學半導體產品雙面超精機【原创】   阅读
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    硅片光學半導體產品雙面超精機通常先采用蠟粘單面拋光,之后再進行無蠟背面拋光,這樣在拋光過程中至少需要兩次清洗,而且涉及粘蠟、去蠟等工藝。

    拋光之后的表面平整度很大程度上受拋光蠟、粘蠟工藝水平的影響,涂蠟的均勻性對拋光片的平整度、翹曲度有著重要的影響。

    光學半導體產品雙面超精機

    光學硅片雙面拋光機,不僅在拋盤上裝有拋光墊,而且在拋頭上也裝有拋光墊,雙墊之間采用游龍盤裝載硅晶圓片,拋光液由上盤采用多孔注入方式加至雙墊之間。

    光學半導體產品雙面超精機采用雙墊雙面拋光,避免了粘蠟、去蠟工藝,減少了清洗工序次數,而且改善了拋光片的平整性能。但雙墊雙拋工藝中,硅晶圓片僅僅被限制于游龍盤的孔內,在孔內受到摩擦力時可以旋轉,相應的相對摩擦效果降低,進而降低了去除速率。

    光學半導體產品雙面超精機價格

    化學機械拋光是機械和化學作用的綜合效果,單一的增強機械作用會增大表面損傷,單一的提高化學作用會降低表面平整效果。

    二者的相互平衡不僅可以保證高拋光速率,而且可以實現高的拋光表面。對于雙墊雙拋工藝,與單面拋光相比,光學半導體產品雙面超精機采用的拋光液相同的情況下,由于硅晶圓片的可滑動性,使得機械摩擦作用有些減弱,從而影響拋光效率。


    光學半導體產品雙面超精機可研磨各種:硅片、玻璃、藍寶石等。


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